Deunyddiau targed titaniwm

1. Trosolwg
Mae deunydd targed yn cyfeirio at y deunydd sy'n cael ei bomio gan ronynnau ynni uchel yn ystod prosesau fel dyddodiad sputtering. Gellir dosbarthu targedau yn fathau metelaidd, aloi neu ocsid. Trwy newid y deunydd targed (ee, alwminiwm, copr, dur gwrthstaen, titaniwm, nicel), gellir cynhyrchu gwahanol systemau ffilm denau, megis haenau aloi ultra-hard, gwrthsefyll gwisgo, neu wrthsefyll cyrydiad.

(1) Targedau metelaidd:
Nickel (Ni), titaniwm (Ti), sinc (Zn), cromiwm (CR), magnesiwm (mg), niobium (nb), tun (sn), alwminiwm (al), indium (in), haearn (Fe), zirium-alwminum (zr) (zral), zral), titan, titan, titan, zral), zral), zral (AlSi), Silicon (Si), Copper (Cu), Tantalum (Ta), Germanium (Ge), Silver (Ag), Cobalt (Co), Gold (Au), Gadolinium (Gd), Lanthanum (La), Yttrium (Y), Cerium (Ce), Tungsten (W), Stainless Steel, Nickel-Chromium (NiCr), Hafnium (HF), molybdenwm (MO), haearn-nicel (FENI), ac ati.

(2) Targedau cerameg:
ITO, Magnesium Oxide, Iron Oxide, Silicon Nitride, Silicon Carbide, Titanium Nitride, Chromium Oxide, Zinc Oxide, Zinc Sulfide, Silicon Dioxide, Silicon Monoxide, Cerium Oxide, Zirconium Dioxide, Niobium Pentoxide, Titanium Dioxide, Hafnium Dioxide, Titanium Diboride, Zirconium diboride, twngsten trioxide, alwmina (al₂o₃), tantalwm pentocsid, pentocsid niobium, fflworid magnesiwm, fflworid yttrium, selenid sinc, titride alwmleidwm nitride, borone, boraseDyme, praseodym Deunyddiau targed sputtering.

2. Gofynion Perfformiad Allweddol ar gyfer Targedau

(1) Burdeb
Purdeb yw un o'r dangosyddion perfformiad pwysicaf, gan ei fod yn effeithio'n uniongyrchol ar briodweddau ffilm tenau. Er enghraifft, mewn microelectroneg, mae meintiau wafer wedi tyfu o 6 "ac 8" i 12 ", tra bod lled llinell wedi crebachu o {0. 5 µm i 0. 13} neu'n llai. Lle gallai 99.995% burdeb µ}}}}}. Bellach mae llinellau µm yn gofyn am burdebau o 99.999% neu hyd yn oed 99.9999%.

(2) Cynnwys amhuredd
Mae amhureddau solet a nwyon wedi'u hamsugno fel ocsigen a dŵr yn ffynonellau halogiad sylfaenol mewn ffilmiau tenau. Mae gan ddiwydiannau penodol, fel lled -ddargludyddion, ofynion llym ar fetelau alcali ac elfennau ymbelydrol mewn alwminiwm a'i aloion.

(3) Ddwysedd
Mae dwysedd uchel yn helpu i leihau mandylledd yn y targed, a thrwy hynny wella perfformiad ffilm sputtering. Mae dwysedd yn effeithio nid yn unig ar gyfradd sputtering, ond hefyd priodweddau trydanol ac optegol y ffilmiau. Mae targedau dwysach hefyd yn gwrthsefyll straen thermol yn well yn ystod sputtering.

(4) Maint a dosbarthiad grawn
Yn nodweddiadol mae gan dargedau strwythurau polycrystalline. Mae grawn mwy manwl yn tueddu i wella cyfraddau sputtering, tra bod dosbarthiad maint grawn unffurf yn sicrhau trwch ffilm hyd yn oed yn ystod y dyddodiad.

3. Graddau Deunyddiol
Ta {{{0}}, ta1, ta2, ta9, ta10, zr2, zr0, gr5, gr2, gr1, tc11, tc6, tc4, tc3, tc2, tc1.

4. Ceisiadau
Defnyddir deunyddiau targed yn helaeth ar gyfer haenau addurniadol, ffilmiau sy'n gwrthsefyll gwisgo, ac yn y diwydiant electroneg ar gyfer CD, VCD, a haenau disg magnetig.

Ffilmiau Tungsten-Titanium (W-Ti)
Mae W-Ti a'i aloion yn haenau swyddogaethol tymheredd uchel gyda manteision anadferadwy. Mae Twngsten yn cynnig pwynt toddi uchel, cryfder, a chyfernod ehangu thermol isel. Nodweddir ffilmiau W-TI gan wrthsefyll trydanol isel, sefydlogrwydd thermol rhagorol, ac ymwrthedd ocsidiad cryf.

Mae metelau rhyng -gysylltiad traddodiadol fel AL, Cu, ac Ag yn hawdd eu ocsidio, eu bondio'n wael i haenau dielectrig, ac yn dueddol o ymlediad i swbstradau fel Si a SiO₂. Mae'r ymddygiadau hyn yn diraddio perfformiad dyfeisiau. Mewn cyferbyniad, mae aloion W-Ti yn rhwystrau trylediad rhagorol oherwydd eu priodweddau thermomecanyddol sefydlog, cyfradd electromigiad isel, a chyrydiad uwch ac ymwrthedd cemegol gan eu gwneud yn ddelfrydol ar gyfer amgylcheddau current uchel a thymheredd uchel.

5. Rhagolwg Datblygu
Mae targedau W-Ti wedi dod i'r amlwg yn ddiweddar fel deunyddiau cotio critigol ar gyfer celloedd ffotofoltäig, yn enwedig fel rhwystrau trylediad mewn celloedd solar trydydd cenhedlaeth. Diolch i'w heiddo eithriadol, mae'r galw am dargedau W-Ti wedi cynyddu yn ystod y blynyddoedd diwethaf. Yn 2008, cyrhaeddodd y galw byd -eang 400 tunnell. Wrth i'r diwydiant solar dyfu, mae disgwyl i'r ffigur hwn godi'n sylweddol.

Mae'r Farchnad Celloedd Solar Ryngwladol yn ehangu'n gyflym, gyda thwf blynyddol 100%. Mae llawer o gwmnïau-gan gynnwys Wverthsurlfulcell yr Almaen, ynni solar byd-eang yr UDA, cragen solar Honda Showa Japan, a metelau Hitachi-yn buddsoddi yn y sector hwn yn weithredol.

Mae Tsieina wedi datblygu targedau W-Ti hynod fawr, dwysedd uchel a phurdeb uchel, dosbarth newydd o ddeunyddiau cotio ïon-sputtering. Defnyddir y rhain yn helaeth fel haenau rhwystr neu docio lliw mewn arddangosfeydd, haenau addurnol mewn gliniaduron, crynhoi batri, a rhwystrau trylediad celloedd ffotofoltäig. Mae eu potensial masnachol ac economaidd yn sylweddol. Yn ogystal, gall eu cynhyrchiad yrru uwchraddiadau yn niwydiant twngsten Tsieina, cynyddu gwerth cynnyrch a chystadleurwydd byd -eang.